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芯片制程已經(jīng)推進(jìn)到了 7nm 以下,這其中最關(guān)鍵的核心設(shè)備就要數(shù) EUV 光刻機(jī)了,目前全世界只有荷蘭 ASML(阿斯麥)可以制造。
來自 Digitimes 的報道稱,臺積電打算在 2021 年底前購置 55 臺 EUV 光刻機(jī),以加快 EUV 相關(guān)工藝制程的發(fā)展。
實際上,當(dāng)前全球一半投入使用的 EUV 光刻機(jī)都在臺積電手中,而截止今年二季度結(jié)束,ASML 累計出貨了大概 71 臺光刻機(jī),也就是臺積電安裝(注意,從獲取零件到校準(zhǔn)機(jī)器使用還需要小半年時間)了 30 臺左右,還有 25 臺的缺口。
ASML 今年下半年計劃出貨 22 臺光刻機(jī),明年全年最多 50 臺,換言之,臺積電打算搶下這其中超過1/3 的供貨。
更關(guān)鍵的是,一臺 EUV 光刻機(jī)的價格大概是 1.2 億美元(約合 8 億元人民幣),也就是在 2020 年底前,臺積電買 EUV 機(jī)器就要花超過 440 億元人民幣,大約相當(dāng)于臺積電當(dāng)前兩個月的總收入了。
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